鍍鋅風管主要作用有哪些類型呢?
(1)一般排氣:其來源于機臺運轉發(fā)熱產生不含有害物質或是高溫氣體,但考慮無塵室空調負荷與過濾裝置負荷,因此將廢氣以一般風車抽至大氣排放至大氣環(huán)境而不需處理。注:GEX采用鍍鋅螺旋風管,HEX采用SUS304酸排(SEX)、堿排(AEX)。
(2)酸堿性排氣:其主要來源于化學清洗工作站,清洗晶片時所產生之揮發(fā)性氣體,此氣體部分含有濃煙,部分則對呼吸系統(tǒng)有刺激性作用有害人體,故必須經過Scrubber中水洗中和處理,再由風機排入大氣。
(3)有機溶劑排氣:其主要來源于涂膠、顯影工序和各工序使用有機溶劑清洗過程時所產生,需經有機廢氣處理設備處理后,再由風機排入大氣。